第274章 分子級別超純水

雙胞胎咬著一根吸管，心不在焉的輕點著頭，用吸管戳著“葡萄汽水”已經見底了的玻璃酒杯，用很好奇的目光盯著梁遠看。

“嘉嘉，你說豬頭是不是想起來什么了？”

“嗯～，看起來很像呢。”

好奇歸好奇，怕打擾了梁遠思路的兩個丫頭只是小聲的聊著天，還敏銳的幫梁遠留意著四周，怕過來打招呼的熟人干擾到。

大約過了五六分鐘，冥思苦想中的梁遠眉頭一展，伸手呯的拍了一下身前的桌面，由于力量很足的緣故把桌面上的酒杯都震得小小的位移了一下。

“小遠，想起來了么？”

雙胞胎異口同聲的問道。

“嗯～！”

梁遠重重的點了點頭。

“小遠想起來的是什么？”

寧婉嘉好奇的問道。

“嗯，走，和我下樓說～。”

梁遠拉起兩個丫頭的手起身就向樓下走。

兩個丫頭跟著梁遠離開食堂，沿著小路來到湖邊，梁遠指著星光點點的湖面笑著說道：“明兒打造一個兩噸重的獎章丟湖里，用來獎勵帶來靈感的南湖。”

“小遠，究竟是什么啊？”

兩個丫頭疑惑的盯著湖水看了又看，也沒想明白這普普通通的湖水能看出來什么靈感。

“稍等稍等，一會來車你倆就明白了～。”

梁遠笑著說道。

磁懸浮列車的測試強度很大，三人在湖邊站了五分鐘左右，一列三節重聯的藍色磁懸浮膠囊列車從湖岸南邊的叢林里轉出，幾個呼吸就上了越湖軌道。

梁遠想和兩個丫頭分享自己的喜悅，也沒用折射、反射之類的物理概念來解釋自己剛剛回憶起來的靈感，決定原滋原味的重演現實。

“仔細看湖面上的列車燈光投影～”

梁遠指著湖面上磁懸浮膠囊列車留下的藍色光斑投影快速說道。

“仔細看，投影在水面上是不是在不停的波動～”

“嗯，是吖～”

“波動的原因應該是風吹的嘛。”

“看光斑的大小變化是不是一會類似正方形一會類似長方形～”

梁遠給了個提示。

“嗯，是的，就是不太明顯。”

“如果把磁懸浮膠囊列車看做光源，那么這個不停變化寬度的光線投影你倆能聯想起什么？”

這事兒本來就是因為光刻機而起的，兩個丫頭自然會第一時間往這個主題上靠，雙胞胎盯著水面上的投影沉默了幾秒鐘，猛的回味了過來。

“小遠你是說用水改變光源的線寬～”

“通過折射改變光源輸出～”

雙胞胎的學習成績向來吊打梁遠，光線的折射又不是什么特別抽象的東西，在梁遠比較明顯的提示下，兩個丫頭幾乎同時猜到了梁遠所言的關鍵點。

“啊～啊～啊～豬頭好厲害！”

“啊啊豬頭終于靠譜了一次，港基集電那么多人都沒想出來從這個方向入手呢。”

高興的兩個丫頭微微抬頭獎勵了梁遠兩個親親。

“我這個只是原理而已，真正能不能用還不好說呢，明兒我還得找明白人好好問問～”

梁遠很是得意的說道。

三人從湖邊回到家已經是下半夜，兩家人的長輩都被三人丟在了港島，洗漱過后道過晚安心情大好的寧婉菲在關上臥室的房門之前還撩了梁遠一句要不要過來打地鋪，看著寧婉嘉似笑非笑的模樣把梁土豪嚇得落荒而逃。

隔日，心里有事的梁遠也顧不上去安撫失火三人組，把事情向王蒙蒙三人解釋的工作交給兩個丫頭，梁遠早起之后直接去了港基集電，依舊是把王欣、劉飛揚、聶曉天三人逮到小會議室開會。

“大少，今天這是又從哪里撿到人了么？”

劉飛揚發現開會的陣容和昨天一樣，說了一個溫度比較低的笑話。

哪有天天撿光刻機的，梁遠兩世為人也就遇到這么一遭，梁遠沒好氣的看了劉飛揚。

“聶曉天，去把門鎖上，屋內開的那種。”

梁遠這句話一出口，技術大佬三人組都知道事情嚴肅了。

“我來吧～”

劉飛揚收起輕松的心態，快步把小會議室的門鎖成手動開啟的那種。

“昨天，聽大家討論193光源壁壘時，腦袋里就閃了個念頭過去～”

梁遠也沒鋪墊直入主題。

“不過這個靈感就是閃了一下，然后就被我忘了～”

梁遠做了個無奈的表情。

技術大佬三人組雖然都沒說話，不過神色都是十分統一的“特喵逗我”。

“晚上和兩個丫頭去食堂吃飯，心里就一直琢磨著這事兒，那種有件事情忘記了卻馬上就能想起來的那種感覺你們都經歷過吧，我昨晚就是那種～”

“菲菲看我想得挺痛苦的，就開了幾瓶葡萄汽水～”

雖然梁遠一本正經的編著心靈雞湯，可葡萄汽水這個名詞一出口，小會議室還是響起了低低的笑聲，寧婉菲的葡萄口味汽水在遠嘉已經成了很著名的“梗”。

“哈哈哈，別笑～，開會呢～。”

梁遠自己也笑場了。

“葡萄汽水還是有用的，人一進入到微醺狀態，看東西的視界難免會扭曲變化有些失真～”

梁遠巴拉巴拉的把自己看磁懸浮膠囊列車的光斑投影，在湖面寬窄變化進而聯想到液體折射和光刻機鏡頭的事情聯系了起來。

牛頓之前，無數人被東西砸了腦袋也沒發現萬有引力，梁土豪之前，無數的酒鬼醉眼迷離也沒想到光刻機的線寬，梁遠自己覺得這鍋雞湯燉得還是蠻有格調的。

“你們說，如果把晶圓丟在水里光刻是不是有助于增大NA值～。”

梁遠假模假樣的問了一句。

除了特別極端條件，物理定律肯定是不會變的，晶圓丟水里當然會變相增大鏡頭的NA值。

“臥艸！”

技術大佬三人組都被驚嚇了，劉飛揚和聶曉天甚至連不符合社會期待都語氣助詞都沒憋住。

王欣徹底的一副世界變化這么大，好像忽然見了鬼的模樣。

小會議室里一片寂靜，也不知過了多久，王欣喃喃的說道：“大少，我是徹底相信你是被賺錢耽擱了的科學天才了。”

劉飛揚小小的“呃”了一聲，把差點脫口而出的大少是真有吉祥物屬性的話硬生生的咽了回去。

昨晚劉飛揚和聶曉天應酬完方偉林一行人，兩人結伴回家時還笑言港基集電有吉祥物屬性的大少，193納米光源壁壘肯定得我們追上來才能突破，哪成想只是回家睡了一覺，第二天梁遠就直接爆種了。

鏡頭上加水這玩意一旦捅破了后邊差不多是一馬平川，對于技術大佬三人組隨便拿張紙就能算出來這東西的前景。

水的折射率是1.44，港基集電目前營運的晶圓生產線線寬是5微米，如果像梁遠所言的直接在水里光刻都不用變動光刻機的鏡頭組數和更換新光源，直接就能把線寬變成3.5微米。

“大少這個想法簡直天才～”

“十年之前，干式蝕刻和濕式蝕刻就有過路線之爭，結果干式蝕刻把濕式蝕刻給淘汰了，沒想到換了個思路濕式居然又復活了。”

“老聶，你這話可不準，形象點說干式蝕刻和濕式蝕刻是沖洗，和大少這個完全是兩碼事。”

光刻機、蝕刻機都是晶圓生產線的核心設備，由于晶圓生產的技術原理起源于相機，因此可以近似的把光刻機看成拍攝，蝕刻機看成沖洗，加工完成的晶圓就是相片。

七十年代中期，主流蝕刻機對經過光刻機曝光之后晶圓都是采用液體化學溶劑沖洗光刻膠，因此也叫濕式蝕刻，七十年代末八十年代初，東洋尼康采用氣體沖洗的干式蝕刻機研制成熟，只用了幾年的時間就淘汰了操作復雜腐蝕污染嚴重的濕式蝕刻。

可惜，整整二十多年，整個東洋也沒人想到把濕式工藝挪移到上一個生產環節。

一般來說，浸入式光刻機有三種技術路線：

第一種是噴淋法，顧名思義就是把水噴到晶圓上然后再迅速帶走，常見的噴淋法工藝是在鏡頭的一側設置一個超精密噴嘴，隨著鏡頭加工運動把水噴到鏡頭下方，然后從鏡頭的另一側把水吸走。

這個方法對超精密加工能力和計算機控制能力要求極高，在鏡頭下方的工作區穩定的建立起那層超薄水膜不比生產光刻機簡單到哪去，如果精密加工和精密控制的能力不行，會導致晶圓邊緣的曝光很差，嚴重影響晶圓生產線的良品率。

不過噴淋法最大的優點就是能完整的利用現有設備，可以說這套噴水和吸水的設備完全獨立于晶圓生產線，只和光刻鏡頭聯動，進行晶圓生產線技術升級時難度和改建成本都極低。

第二種叫浴缸法，這個方法和梁遠剛剛說的靈感類似，就是把整片晶圓都丟在水里，裝晶圓的容器→浴缸隨著晶圓工作臺移動。

這種方法的好處是工程上的技術難度較低，不會對晶圓生產線的良品率造成負面影響，不過缺點是要對現有的晶圓生產線做較大的改動，必須研制全新的能在水中工作的光刻膠，必須對晶圓工作臺加以改進，而且由于晶圓工作臺上增加了水的重量，晶圓生產線的生產節拍也會隨之改變，相比噴淋法晶圓生產線的生產效率會有一定幅度的下降。

第三種叫泳池法，就是把整個光刻程序都丟進水里來完成，這種方法雖然能最大化的減少線寬，不過在水中操作相當于重新研發一套晶圓生產體系，無論工程難度還是經濟成本都雙雙過高。

新世紀之后，浸入式光刻機的國際主流路線采用了噴淋法，不過以港基集電目前的實力來說，第二種浴缸法才是最合適的，新世紀之后尼康和艾斯摩爾之所以選了噴淋法路線，一個是兩家精密加工和精密控制的水準高沒門檻，另一個是國際上現存的光刻設備大部分都是這倆家賣的，當然是升級成本越低升級方式越簡單越好。

九十年代初，制程工藝和芯片設計之間的分界遠沒有未來那般清晰，技術大佬三人組目前雖然都是以芯片設計為主業，但三人都對晶圓制程了如指掌，隨便丟到那條產線上當個線長絕對是富富有余。

劉飛揚在紙上龍飛鳳舞的寫了大半張的算式，然后抬頭用無法置信的語氣對梁遠說道：“大少，如果從西門子引進的設備投產，把大少這個想法放進生產線，我們直接就攆上國際先進水準了～～”

港基集電主導的共和國的火炬計劃屬于基礎科研類，壓根就沒有保密一說，港基集電的財務審計是通過第三方的會計師事務所交叉審計，梁遠打算采購大批的國產5微米晶圓生產線，在財務報表上根本無法隱藏。

當然，引進第三方會計師事務所雖然一定程度上不利于企業保密，但對國際交流引進技術還是很有促進作用的。

隨著港基集電5微米晶圓產線的成熟量產，此時的海外電子產業界巨頭已經意識到，3微米線寬對港基集電來說隨時都可能獲得突破，一旦港基集電自主突破了3微米的制程技術，2微米的海外制程技術很可能沒有花大價錢引進的必要了。

因此這次蘇良宇等人這次去西門子談判，受到了西門子半導體極為熱情的接待，和三個月之前的態度簡直判若兩人，甚至西門子還承諾會在歐洲電子行業內部展開游說，爭取盡早把2微米制程技術撤下巴統的監控名單。

實際上，哪怕沒有梁遠干擾歷史，在九一年的下半年巴統組織自己就開始討論，把2微米制程技術對共和國開放綠燈的可行性。

不過那時放寬政策的背景是北極熊轟然倒塌，共和國北上挖墻腳，海外電子集團生怕共和國借用北極熊的電子產業人才快速崛起，決定放寬技術的出口標準用來影響共和國的電子產業政策。

“海外最先進的0.5微米制程還沒投產，目前已經投產中最先進的生產線只有東芝、NEC、摩托羅拉三家的1.0微米線，按英特爾的技術路線圖0.5微米的生產線要明年第三季度才開始運行，蘇總那邊正在和西門子談1.5微米的線，如果我們動作快一點，在1.5微米制程的基礎上搞大少提出來的這個東西，能把制程線寬直接推進到1微米，海外的電子集團怕是得瘋吧～”

九十年代，海外壓制共和國電子產業的技術代差基本都是穩定保持在三代，如果按聶曉天所說直接把制程線寬搞到1.0微米，可就真的踩到老外的尾巴了，肯定得真瘋，港基集電搞不好會丟在無影燈和放大鏡下吊起來觀察。

“這些事先另說，先搞個簡單的框架出來，有什么注意事項現在就寫，然后去實驗室中試車間試試我說的想法。”

“就算能成也別改老外的設備，我們直接改國產的方便，5.0線寬和3.0線寬真較真可以說是兩種芯片了，改海外的的線就算能改成功才多大一點產量，除了虛名沒大用。”

梁遠否掉了聶曉天的假設。

“我先來提吧，第一個水的純度問題，普通水里的氣泡雜質什么的肯定會嚴重影響良品率，我們能用的肯定是超純水，我估計一般實驗室里用的超純水很可能還不成，得上最頂尖的那種純度起碼要六個九，不過這東西的來源還得看大少的～”

王欣所言超純水的純度差不多微觀到了分子級別，起碼得把水中的重水全都分離出去，共和國能生產這玩意的部門怕是只有核工業部一家能干。

一般來說，王欣要的那種超純水是分離重水的副產物，這東西全球有能力生產的估計兩只手就數得過來了，重水的價格在九十年代是5元每毫升，這個副產物價值多少還真沒法衡量

“這個問題我來解決。”

梁遠倒是雷厲風行，直接抄起電話聯系人在港島休假的寧雷。

兩個中年婦女要在家里享受天際線游泳池，因此寧雷和老梁同志哪也沒去，梁遠第一時間就找到了人。

“小遠怎么想起來給寧叔打電話了，莫非是燒的太嚴重被東大開除了不成～。”

寧雷笑著和梁遠開玩笑，可對于梁遠來說，寧雷第一句話就一語中地直接把天給聊死了。

這破事兒都簡直了，雖然和兩個丫頭同桌的未來非常值得期待，可這事兒該怎么和家里解釋梁遠想想就腦殼痛。

“寧叔，我在港基集電這邊開技術會議呢，如果不出意外，日后的保密級別應該是絕密。”

梁遠決定暫時無視自己被打回高中的事實，先用工作把家里人應付過去。

“哦，有什么需要小遠直說。”

一聽是絕密，寧雷知道梁遠不可能拿這種事情開玩笑，態度頓時嚴肅了起來。

“港基集電在搞一種能追上國際頂尖制程線寬的技術，需要分子級別的超純水，最好是重水分離的副產物～。”

“需要多少？”

寧雷言簡意賅。

“需要多少？你們三個碰一下？”

梁遠轉頭問技術大佬三人組。